机译:使用各向异性湿蚀刻技术制造的低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:通过各向异性湿法刻蚀在绝缘体上硅衬底上具有非晶硅覆盖层的长周期波导光栅
机译:使用各向异性湿蚀刻实现具有硅(111)表面的低损耗缝隙波导
机译:通过各向异性湿法刻蚀制造的低损耗硅矩形波导,以降低粗糙度
机译:具有耦合器的平面波导太阳能聚光器,该耦合器由激光诱导的背面湿法刻蚀制成。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:采用各向异性湿法刻蚀技术制作低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:由各向异性蚀刻制作的短程光学波导透镜